PVD İnce Film Biriktirme Sistemi Sputtering ve Termal Buharlaşma Vakum Kaplama Ekipmanları

PVD İnce Film Biriktirme Sistemi, Sputtering ve Termal Buharlaşma Vakum Kaplama Ekipmanları

PVD İnce Film Biriktirme Sistemi, Tungsten filament buharlaşma kaynağı ve DC magnetron püskürtme kaynaklarının biriktirme kaynaklarını içerir (RF püskürtme katotları opsiyoneldir). Bu ekipman çoğunlukla, plastik parçalar, cam, metal veya folyolar üzerine ince filmleri aşağıdaki gibi biriktirme maddeleri ile depolamak için kullanılır: saf metal Al, Cr, Cu, Ag, Au, Ti vb. Genel olarak ürünlerde yüksek yansıtıcı ince filmler elde etmek için buharlaşma kaynakları yüzeyler veya iletken filmler veya bir metalik görünüm görüntüsü verin. Bunun dışında, püskürtme kaynakları, çok çeşitli yarı iletken malzemeleri ve şeffaf iletken oksitleri içeren dielektrikleri yoğunlaştırır.

PVD İnce Film Biriktirme Sistem Yapılandırmaları:

performans

1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10 ^-6 Torr'dan daha iyi .

2. İşletim Vakum Basıncı: 1.0 × 10 ^-4 Torr.

3. Aşağı pompalama 1 atm ila 1.0 × 10 ^-4 Torr≤3 dakika arası (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Metalize edici materyal (buharlaşma): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… vb.

5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel

Yapısı

Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1. Vakum Odası
1.1 Boyutu: İç Çap 1600mm

Iç yükseklik 1600mm

1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304 (seçenek için SS41 yumuşak çelik)

Kapı ve flanşlar SUS304 (seçenek için SS41 yumuşak çelik)

Odası güçlendirmek yapısı: boyalı kaplama yüzey işleme ile SS41 hafif çelik.

Odacıklı şasi SS41 hafif çelik boyalı yüzey işlemesi ile.

1.3 Kalkan: SUS304

  1.4 Görünüm Penceresi: Kabin kapısında

Susturucu dahil 1,5 Vakum Odası Havalandırma Vanası

1.6 Kapı SUS304 malzemesi

2. Vakum Pompalama Sistemi Rouhging

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi - PLC + Dokunmatik Ekran

4.1 Ana devre: Yok tip sigorta şalteri, elektromanyetik şalter, seri tip C / T

4.2 Buharlaşma Gücü: 35kVA

4.3 Buharlaşma Kontrol Sistemi

4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama

4.5 Vakum Basıncı Ölçüm Sistemi

Vakum Ölçer: Pirani + Penning göstergesi

Termokupl Ölçer: 760 Torr ~ 5 * 10 ^-4 Torr

4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış kullanım

4.7 Güç Yük Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi

5. Biriktirme Sistemi

5.1 Tungsten filaman buharlaşma kaynağı

5.2 Termal buharlaşma materyalleri: teller, halkalar, çubuklar vb.

5.3 Sputter kaynakları (DC / MF güç tahrikli)

6. Alt Sistem

6.1 Hava Sıkıştırmalı Valf Kontrol Sistemi

6.2 Soğutma Suyu Sistemi-Su akış borusu ve anahtar vana sistemi

Makine ve uygulamalar hakkında daha fazla bilgi edinin, lütfen şimdi bize ulaşın.