PVD MF Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi, MF Püskürtme Sistemi, TiN MF Püskürtme Birim Ünitesi
MF Mangetron Püskürtme Kaplayıcı RT1215-SPMF, bakır, alüminyum, plastik, metal devre kartı iletken film tabakası kaplaması için tasarlanmıştır. Nano ince filmi yüzeylerde yoğunlaştırabilir. Ag püskürtme dışında, Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L'yi de biriktirebilir.
RTSP1215-MF makinesi, odaya 2 çift MF püskürtme katodu ve PVD film biriktirmeden önce plazma bombardımanı temizliği için 1 set Anot Katman İyon kaynağı ile monte edilir.
İyon kaynağı, özellikleri Gencoa firmasının orijinalidir:
1. Standart püskürtme basınçlarında kolime edilmiş plazma ışını üretmek için optimize edilmiş manyetik alanlar
2. Sabit akım ve gerilimi korumak için gaz için otomatik düzenleme - çoklu gaz otomatik kontrol
3. Alt tabakayı kirlenmeye karşı korumak ve uzun ömürlü bileşenler sağlamak için grafit anot ve katot
4. Tüm iyon kaynaklarında RF standart elektrik yalıtımı
5. Anot ve katodun doğrudan soğutulması - parçaların hızlı değiştirilmesi
6. Düşük voltajlı çalışma veya odaklanmış bir ışın için birden fazla manyetik tuzak sağlamak için katod parçalarının kolay değiştirilmesi
7. Her zaman aynı akımı korumak için voltaj ayarlı gaz besleme geri beslemeli güç kaynağı
RTSP1215-MF MF Püskürtme Kaplama Ekipmanı Düzeni
RTSP1215-MF MF Püskürtme Kaplama Ekipmanı Uygulamaları:
1. Yüzeylerde mevcuttur: Plastik, Polimer, Cam ve seramik levhalar, Paslanmaz çelik, Bakır levha, Alüminyum levha vb.
2. Aşağıdaki gibi Nano film üretmek için: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al vb.
RT1215-SPMF MF Püskürtme Kaplama Ekipmanı Tasarım Özellikleri:
1. Sağlam tasarım, sınırlı alan için iyi
Bakım ve onarım için 2. Kolay erişim
3. Yüksek verim için hızlı pompalama sistemi
4. CE standardı elektrik muhafaza, UL standardı da mevcuttur.
5. Doğru fabrikasyon işçilik
6. Yüksek kaliteli film üretimini garanti altına almak için kararlı çalışma.
Silindir veya Düzlemsel MF Püskürtme Makinesi çalışma durumu
RT1215-SPMF MF Püskürtme Kaplama Ekipmanı Özellikler:
| MODEL | RT1215-SPMF |
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) |
| ODASI BOYUTU | Φ1200 * 1500mm (H) |
| ODASI TİPİ | 1 kapılı yapı, dikey |
| TEK POMPA PAKETİ | Döner Kanatlı Vakum Pompası |
| Kökleri Vakum Pompası | |
| Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa | |
| İki kademeli döner kanatlı vakum pompası | |
| TEKNOLOJİ | MF Magnetron Püskürtme, Doğrusal İyon Kaynağı |
| GÜÇ KAYNAĞI | Püskürtme güç kaynağı + Önyargı Güç kaynağı + İyon Kaynağı |
| MEVDUAT KAYNAĞI | 2 çift MF Püskürtme Katotleri + İyon Kaynağı |
| KONTROL | PLC + Dokunmatik Ekran |
| GAZ | Gaz Kütle Akış Metreleri (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Azot ve Etin, Oksijen |
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanı korumak için çok sayıda emniyet kilidi |
| SOĞUTMA | Soğutma suyu |
| TEMİZLİK | Kızdırma Deşarjı / İyon Kaynağı |
| MAKSİMUM GÜÇ. | 120kW |
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 70kW |
Daha fazla özellik için lütfen bize ulaşın, size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyarız.
