PVD makine modeli: RTSP1215-MF, Bakır devre kartında TiN altın kaplaması yapmak üzere tasarlanmış ve geliştirilmiştir. TiN ince filmi, yüksek vakum ortamında üretildi ve bu da düzgünlüğü ve saflığı artırdı.
Bakır Devre TiN PVD Kaplama Makinesi tasarım özellikleri:
1. Iyon kaynağını ve püskürtme katotlarını veya ark katotlarını döşeme proses talebine dayanılarak esnek olarak birleştiren ve eşit boyutta monte edilebilen flanşlara sahip 8 taraflı bölme.
2. Sadece 20sqm'yi işgal eden kompakt tasarım;
3. Plazma temizleme öncesi iyon kaynağı ve film yapışmasını arttırmak için iyon demeti yardımlı çökelme.
4. Yüksek pompalama hızı paketi ve stabil konfigürasyon, manyetik süspansiyonlu moleküler pompalar herhangi bir yönde monte edilebilir.
Bakır Devre TiN PVD Kaplama Makinesi Özellikleri
performans
1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10 - 6 Torr'dan daha iyi.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1.0 × 10 - 4 Torr ≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme + ark buharlaştırma): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
yapı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar teslim sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. İlerleyen Vakum Pompa Sistemi (Destek Pompası Paketi)
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa)
4. Elektriksel Kontrol ve Çalışma Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi
| RTSP1215-MF Teknik Verileri | |||||||
| MODEL | RTSP1215-MF | ||||||
| TEKNOLOJİ | Manyetron püskürtme (MF) | ||||||
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | ||||||
| ODALI BOYUT | Φ1200 * H1500mm | ||||||
| ODA TİPİ | 8-taraflı, dikey, 1-kapılı | ||||||
| YILDIZ ISITMA SİSTEMİ | 4 takım Düzlemsel Püskürtme Katotları | ||||||
| YERLEŞME MALZEMESİ | Alüminyum, Gümüş, Bakır, Krom, Paslanmaz Çelik, Nikel, Titanyum, TiN | ||||||
| ÖĞRETİM KAYNAKLARI | 4 Düzlemsel Püskürtme Katotları + Plazma temizleme iyon kaynağı | ||||||
| GAZ | MFC-2 yolu, Ar, N2 | ||||||
| KONTROL | PLC (Programlanabilir Lojik Kontrol Cihazı) + Dokunmatik ekran | ||||||
| POMPA SİSTEMİ | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 setler (Leybold) | |||||||
| D60T-1 set (Leybold) | |||||||
| MGK3304 - 2 takımlar (Osaka) | |||||||
| ÖN ARITMA | Önyargı güç kaynağı: 1 * 36 KW | ||||||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilitleri ve ekipman | ||||||
| SOĞUTMA | Soğuk su | ||||||
| GÜÇ ELEKTRİKLİ | 480V / 3 faz / 60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
| 460V / 3 faz / 50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
| 380V / 3 faz / 50HZ (EU-CE uyumlu) | |||||||
| AYAK İZİ | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| TOPLAM AĞIRLIK | 7.0 T | ||||||
| AYAK İZİ | (L * G * Y) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| DEVİR SÜRESİ | 30 ~ 40 dakika (tabaka malzemesine bağlı olarak, alt tabaka geometrisi ve çevresel koşullar) | ||||||
| MAKSİMUM GÜÇ.. | 110 Kw | ||||||
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ (APPROX.) | 50 KW | ||||||
Bakır Devre TiN PVD Kaplama Numunesi
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama özümleri sunmaktan onur duyar.
