PECVD Hidrojen Yakıt Hücresi Güç Modülü Sputtering Sistemi / SiC Yakıt Pili Vakum Metalize Makinesi
FCV, Fuel Cell Vehicles'ın kısa adıdır, yeni nesil yeşil otomobiller için en yeni teknolojidir. Oksijen ve hidrojen arasındaki elektrokimyasal reaksiyon ile sürekli elektrik enerjisi üretebilir. Tekrar şarj edilmesi gereken kuru pil ve şarj edilebilir pil gibi birincil pilden farklıdır.
Çekirdek teknolojisi, yakıt ve oksijen gibi hidrojen arasındaki elektrokimyasal reaksiyon yoluyla yakıt hücresi güç modülüyle elektrik enerjisinin nasıl üretileceğidir.
Güç modülünün en önemli önemli parçası olan hidrojen yakıt hücresi, bilim insanları, mühendisler, ulaşım örgütlerinden profesörler ve dünya çapında araç üreticileri binlerce test yaptı ve nihayetinde doğru işlem gördü.
Bu% 100 envrionmetally dostu teknoloji ve vechiles.
Bizim makine RTSP1213-DC modeli bu uygulama için özel olarak tasarlanmış ve geliştirilmiştir. Shanghai Jiaotong Unversity ve SAIC Motor Corporation Limited Şirketi ile işbirliği yaptık.
Yüksek homojenlik, güçlü yapışma SiC ince filmleri biriktirmek için PECVD (Plazma Gelişmiş Kimyasal Buhar Biriktirme) Teknolojisi ile Hidrojen Yakıt Hücresi Güç Modülü Sputtering Sistemi.
Hidrojen yakıt hücresi püskürtme makinesi, iyon kaynağı, dengeli / dengeli püskürtmeli katotlar içerir; istikrarlı ve büyük hacimli vakum pompalama sistemi ile.
Hidrojen Yakıt Hücresi Güç Modülü Sputtering Sistemi Özellikleri
| MODEL | RTSP1213-DC | |||||||||
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | |||||||||
| CHAMBER SIZE | 501250 * 1350 mm (H) | |||||||||
| CHAMBER TİPİ | Ön ve arka 2 kapılı yapı, Dikey | |||||||||
| TEK POMPA PAKETİ | Döner Pistonlu Vakum Pompası | |||||||||
| Kökler Vakum Pompası | ||||||||||
| Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompası | ||||||||||
| Döner Kanatlı Pompa (Tutma Pompası) | ||||||||||
| TEKNOLOJİ | Magnetron Sputtering, İyon Kaynağı PECVD | |||||||||
| GÜÇ KAYNAĞI | Sputtering güç kaynağı + Önyargı Güç kaynağı + İyon Kaynağı | |||||||||
| DEPOZYON KAYNAĞI | 2 çift DC / RF Sputtering Katotları + (2 çift yedek kullanarak) + İyon Kaynağı | |||||||||
| KONTROL | PLC + Dokunmatik Ekran | |||||||||
| GAZ | Gaz Kütle Akış Ölçerler (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Azot ve Etin, Oksijen | |||||||||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çeşitli güvenlik kilitleri | |||||||||
| SOĞUTMA | Soğutma suyu | |||||||||
| TEMİZLİK | Kızdırma Deşarjı / İyon Kaynağı | |||||||||
| MAKSİMUM GÜÇ. | 150kW | |||||||||
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 75KW | |||||||||
Özel tasarlanmış raf ve jig sistemi, bir alt tabakalar için uygun yükleme / boşaltma için tamamen hareket edebilir.
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
