İTO Film Kaplama Makinesi, Banyo Tipi İTO film Magnetron Püskürtme Kaplayıcı / Cam İTO Biriktirme Makinesi
İTO Film Kaplama MakinasıStandart uygulamalar: PET, cam, ITO kaplama katmanları oluşturmak için.
Makine İnşa Süresi: 2012, Çin.
Uygulama: AR filmi, ITO filmi.
İş Parçaları:
Boyut: 300mm * 100mm
PET Kalınlığı: 0.175mm+/-0.05mm
*ITO Filmin Kalınlığı:185nm+/-5nm
Sac direnci: 6~8ohm/sq
İTO Film Kaplama MakinasıTeknik Konfigürasyonlar:
1) DC Püskürtme Kaynakları: Cu, Al, ITO
2) MF Püskürtme Kaynakları
3) Turbo Moleküler pompa + Destek Pompa grubu
4) ITO film kalitesini iyileştirmek için yüksek yoğunluklu manyetik alan, hedef kullanım oranı> %30
5) Cu, Al, Si hedef kullanım oranı > %35
6) Biriktirme Hızı: 30nm m/dak ~ 40nm m/dak
7) Püskürtme Tekdüzelik Alanı: 350mm
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.