Au Altın Püskürtme Biriktirme Ekipmanları, Silve / Altın PVD Biriktirme Makinesi, İletken Film PVD Püskürtme Sistemi
Özet: DPC işlemi - Doğrudan Kaplama Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrileri ile uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir. Tipik bir uygulama, Seramik Yayılan Yüzey'dir. Aluminyum Oksit (Al2O3) üzerine Cooper iletken film biriktirme, PVD vakum püskürtme teknolojisi ile AlN substratları, geleneksel üretime kıyasla
yöntemler: DBC LTCC HTCC, çok daha düşük üretim maliyeti yüksek özelliğidir.
Royal teknoloji ekibi, DPC işlemini PVD püskürtme teknolojisi ile başarılı bir şekilde geliştirmek için müşterimize yardımcı oldu.
Anahtar Kelimeler: Seramik sızdırmazlık parçaları, DPC işlemi, Bakır PVD Püskürtme sistemi, Cooper Kaplamalı LED Seramik Yongaları, Al 2 O 3 , AlN Seramik Devre Kartları, LED Üzerindeki Al2O3 Plakalar, Yarı İletken
DPC Uygulamaları :
· HBLED
· Güneş enerjisi yoğunlaştırıcı hücreleri için yüzeyler
· Otomotiv motor kontrolü de dahil olmak üzere güç yarı iletken paketleme
· Hibrit ve elektrikli otomobil güç yönetimi elektroniği
· RF için paketler
· Mikrodalga cihazları
DPC Teknoloji Performansı
Çeşitli alt tabaka malzemeleri: Seramik (Al3O2, AlN), Cam ve Si
Özellikler:
Teknik özellikler
1. Nihai Vakum Basıncı: 9.0 * 10 - 5 Pa'dan daha iyi;
3. Pompalama Süresi: atm'den 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Biriktirme kaynağı: Gencoa magnetron püskürtme katotları, yönlendirilmiş ark katotları, İyon kaynağı
5. İşletim Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Elle
6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 500 ℃,
9. PECVD ve PA PVD işlemi için iyon kaynağı.
Vakumlu kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar sistemlerini içermektedir:
1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Çap: 1200mm
İç Yükseklik: 1500mm
1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304
Kapı ve flanşlar SUS304
Bölme yapısı güçlendirilmiş: SS41 boyalı çelik, son işlem yüzey boyalı.
Boyalı son işlem yüzey işlemli oda kasası SS41 yumuşak çelik.
1.3 Oda Kalkanı: SUS304
1.4 Görünüm Penceresi: 2 kapı
1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)
1.6 Kapı: SUS304 malzemesi
2. Rou ghing Vakum Pompalama Sistemi :
Yağ döner kanatlı vakum pompası + Tutma Pompası
3. Yüksek Vakumlu Pompalama Sistemi : Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa - 2 set
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi - PLC + Dokunmatik Ekran İşletim Sistemi:
Tedarikçiler:
PLC: Mitsubishi + Dokunmatik Ekran (Çin'de Üretilmiştir)
Elektronik Bileşenler: SCHNEIDER, OMRON.
Güvenlik Koruma Sistemi: Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi (su, mevcut gaz, sıcaklık vb.)
Kaplama İşlemleri Sistemi : Süreç Otomasyonu ve Kontrolü.
4.1 Ana devre: Yok sigorta şalteri, elektromanyetik şalter, seri tipte C / T
4.2 Güç Kaynağı: DC / MF püskürtme gücü + DC Ark gücü + Önyargı Güç Kaynağı
4.3 Biriktirme kontrol sistemi
4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama
4.5 Ölçüm Sistemi
Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning Ölçer + Tüm seri vakum ölçeri - Avrupa markası
Sıcaklık ölçüm cihazı: Thermo-couple
MFC: Kütle Akış Kontrol Cihazı (4 yol),
4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış çalışma
4.7 Güç Yükü Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi
5 . Biriktirme Sistemi
5.1 Biriktirme kaynağı: Sıçrayan katotlar + Ark kaynakları + İyon Kaynağı
5.2 Biriktirme malzemesi: Bakır, Alüminyum, Krom, Gümüş, Altın, SS, Titanyum vb.
6. Alt Sistem
6.1 Hava Sıkıştırılmış Valf Kontrol Sistemi
6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve şalt vanası sistemi
7. Çalışma Ortamı
Basınçlı Hava: 5 ~ 8kg / cm2
Soğutma Suyu: Su Giriş Sıcaklığı: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su Giriş Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,
Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, ortalama güç tüketimi: 60KW
Kurulum Alanı: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma
Daha fazla özellik için lütfen bize ulaşın, size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyarız.
